Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Characterization of RF magnetron sputtered Se-doped Ge2Sb2.3Te5 thin films.
Authors: Wágner Tomáš | Gutwirth | Orava | Přikryl | Bezdička | Bartoš | Vlček Milan | Frumar Miloslav
Year: 2008
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Materials Research Society Symposium Proceedings
Publisher name: MRS (Materials Research Society)
Place: San Francisco
Page from-to: G05-07
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Charakterizace selenem dotovaných tenkých vrstev Ge2Sb2.3Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním. Byla provedena charakterizace selenem dotovaných tenkých vrstev Ge2Sb2.3Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng Characterization of RF magnetron sputtered Se-doped Ge2Sb2.3Te5 thin films. Characterization of RF magnetron sputtered Se-doped Ge2Sb2.3Te5 thin films was performed. amorphous chalcogenides, thin films, sputtering