Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

On Angle Resolved RF Magnetron Sputtering of Ge-Sb-Te Thin Films.
Authors: Gutwirth | Wágner Tomáš | Bezdička | Kotulánová | Vlček Milan | Orava | Frumar Miloslav
Year: 2008
Type of publication: článek ve sborníku
Name of source: Delegate manual: XVIth International Symposium on Non-Oxide and New Optical Glasses
Publisher name: University of Montpellier
Place: Montpellier
Page from-to: P-2
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Úhlově rozlišené RF magnetronové naprašování tenkých vrstev Ge-Sb-Te. Byla provedena charakterizace úhlově rozlišeného RF magnetronového naprašování tenkých vrstev Ge-Sb-Te. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng On Angle Resolved RF Magnetron Sputtering of Ge-Sb-Te Thin Films. Characterization of angle resolved RF magnetron sputtered Ge-Sb-Te thin films was performed. amorphous chalcogenides, thin films, sputtering