Publication detail

RF magnetron sputtering of Se doped Ge-Sb-Te thin films.

Year: 2008

Type of publication: článek ve sborníku

Name of source: European phase change and ovonics symposium : EPCOS 2008

Publisher name: Univerzita Pardubice

Place: Pardubice

Page from-to: 203

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	RF magnetronové naprašování selenem dotovaných tenkých vrstev Ge-Sb-Te.	Bylo studováno RF magnetronové naprašování selenem dotovaných tenkých vrstev Ge-Sb-Te.	amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng	RF magnetron sputtering of Se doped Ge-Sb-Te thin films.	RF magnetron sputtering of Se doped Ge-Sb-Te thin films was studied.	amorphous chalcogenides, thin films, sputtering

Search