Publication detail

Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých vrstev a optický tloušťkoměr

Authors: Dohnal Miroslav

Year: 2008

Type of publication: patent

Publisher name: Úřad průmyslového vlastnictví

Place: Praha

Page from-to: nestránkováno

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých vrstev a optický tloušťkoměr	Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých transparentních i netransparentních vrstev spočívá v tom, že se na měřenouvrstvu i na její světelný difuzor, na němž je zkoumaná vrstva nanesena, promítá úzký světelný svazek pod úhlem dopadu (alfa) a vytvořené alespoň dvě světelné linie vzdálené o vzdálenost L se registrují optickým mikroskopem nebo CCD kamerou. Z naměřené vzdálenosti L se výpočtem nebo odečtem na kalibrované stupnici okuláru optického mikroskopu stanoví tloušťka transparentní i netransparentní zkoumané vrstvy. Optický tloušťkoměr pro měření nestacionárních transparentních i netransparentních tenkých vrstev sestává z optického projekčního systému tvořeného světelným zdrojem emitujícího monochromatické a/nebo bílé světlo a dále kondenzorem a kolimátorem a mikrometricky stavitelnou štěrbinou, a z optického mikroskopu. Optická osa kolimátoru svírá s normálou vrstvy vzorku úhel dopadu (alfa), přičemž optický mikroskop je umístěn v ose normály vrstvy vzorku, umístěným na optickém difuzoru, a je opatřen okulárem s nitkovým křížem a/nebo snímací CCD kamerou.	měření tloušťky, optický tloušťkoměr
eng	Method of thickness measuring of non-stationary thin layers and optical thickness meter	Method of thickness measuring of non-stationary thin layers and optical thickness meter.	thickness measuring, optical thickness meter

Search

Login for students

Login for employees

Publication detail

Departments

Other Parts

Map

Services

Popular Links