Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Selective Etching of Chalcogenides and Its Application for Fabrication of Diffractive Optical Elements
Authors: Vlček Miroslav | Schroeter S | Čech J | Wágner Tomáš | Glaser T
Year: 2003
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Journal of Non-Crystalline Solids
Publisher name: Elsevier Science BV
Place: Amsterdam
Page from-to: 515-518
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Selektivní leptání chalkogenidů a jeho aplikace pro přípravu difrakčních optických prvků Selektivní leptání chalkogenidů a jeho aplikace pro přípravu difrakčních optických prvků amorfní chalkogenidy; tenké vrstvy; selektivní leptání
eng Selective Etching of Chalcogenides and Its Application for Fabrication of Diffractive Optical Elements Selective etching of chalcogenides and its application for fabrication of diffractive optical elements were studied. amorphous chalcogenides;thin films;Selective etching