Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Utilization of Chalcogenide Thin Film as Inorganic Photoresist.
Authors: Orava J. | Wágner Tomáš | Kohoutek Tomáš | Krbal M. | Vlček Milan | Frumar Miloslav
Year: 2007
Type of publication: článek ve sborníku
Name of source: ICG 2007: XXIst International Congress on Glass
Publisher name: The International Commission on Glass
Place: Strasbourg, France
Page from-to: 133
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Využití chalkogenidových tenkých vrstev jako anorganických fotorezistů. Bylo studováno využití chalkogenidových tenkých vrstev jako anorganických fotorezistů. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, fotorezisty
eng Utilization of Chalcogenide Thin Film as Inorganic Photoresist. Utilization of chalcogenide thin film as inorganic photoresist was studied. amorphous chalcogenides, thin films, photoresists