Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

RF Magnetron Sputtered Ge2Sb2Te5 Thin Films Characterization.
Authors: Gutwirth | Wágner Tomáš | Hrdlička | Přikryl | Bezdička | Vlček Milan | Frumar Miloslav
Year: 2007
Type of publication: článek ve sborníku
Name of source: Program book - IMST 2007
Place: Enschede, Netherlands
Page from-to: 47-48
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Charakterizace tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním. Byla studována charakterizace tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng RF Magnetron Sputtered Ge2Sb2Te5 Thin Films Characterization. RF magnetron sputtered Ge2Sb2Te5 thin films characterization was studied. amorphous chalcogenides, thin films, sputtering