Publication detail

RF Magnetron Sputtered Ge2Sb2Te5 Thin Films Characterization.

Year: 2007

Type of publication: článek ve sborníku

Name of source: Program book - IMST 2007

Place: Enschede, Netherlands

Page from-to: 47-48

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Charakterizace tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním.	Byla studována charakterizace tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním.	amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng	RF Magnetron Sputtered Ge2Sb2Te5 Thin Films Characterization.	RF magnetron sputtered Ge2Sb2Te5 thin films characterization was studied.	amorphous chalcogenides, thin films, sputtering

Search