Publication detail

Tvorba mikro- a nanostruktur v chalkogenidových sklech

Authors: Vlček Miroslav | Schroeter S. | Fišerová A. | Poehlmann R.

Year: 2005

Type of publication: článek ve sborníku

Name of source: Sklář a keramik 55 C

Publisher name: Vysoká škola chemicko-technologická v Praze

Place: Praha

Page from-to: 172-177

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Tvorba mikro- a nanostruktur v chalkogenidových sklech	Práce se zabývá tvorbou mikro- a nanostruktur v amorfních vrstvách chalkogenidů na bázi As a Ge. Je zde ukázáno, že expozice vhodným zářením může indukovat výrazné změny optických vlastnoatí a chemické odolnosti vůči alkáliím. V práci je diskutován mechanismus selektivního leptání a vliv podmínek expozice na leptací křivky. Je demonstrována výroba difrakčních prvků v těchto materiálech.	chalkogenidová skla, selektivní leptání, fotoindukovaný jev, difrakční opticé prvky
eng	Fabrication of micro- and nanostructures in chalcogenide glasses.	This paper deals with fabrication of micro- and nanostructures in thin films of amorphous As- and Ge- based chalcogenides. It is shown that exposure to band gap and/or to UV light as well as to electron beam can result in significant changes in optical properties and chemical resistance to alkaline solvents. Mechanism of high selective etching of As-based films is discussed. The influence of exposure conditions on the etching characteristics are investigated. Fabrication of some diffractive optical elements is demonstrated	chalcogenide glass, selective etching, photoinduced phenomenon, diffractive optical elements

Search