Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Selektivní leptání chalkogenidových vrstev a jeho praktické aplikace
Authors: Fišerová Alena | Vlček Miroslav | Jain H.
Year: 2005
Type of publication: článek ve sborníku
Name of source: ChemZi
Publisher name: Slovenská chemická spoločnosť pri SAV
Place: Bratislava
Page from-to: 168-169
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Selektivní leptání chalkogenidových vrstev a jeho praktické aplikace V práci byly studovány fotoindukované změny chemické rezistence tenkých vrstev amorfních chalkogenidů vůči nevodným alkalickým roztokům. Jevu bylo využito pro tvorbu difrakčních mřížek expozicí přes Cr masku a holografickou cestou.
eng Selective etching of amorphous chalcogenide films and practical application thereof. Photoinduced changes of chemical resistance of thin amorphous chalcogenide films to non-aqueous alkalis have been studied. This phenomenon was utilized to fabricate diffractive gratings in chalcogenide films. chalcogenide films, selective etching