Publication detail

Tvorba mikro- a nanostruktur v amorfních chalkogenidech a aplikace jevu

Authors: Vlček Miroslav | Schroeter S. | Fišerová A. | Poehlmann R.

Year: 2005

Type of publication: článek ve sborníku

Name of source: ChemZi

Publisher name: Slovenská chemická spoločnosť pri SAV

Place: Bratislava

Page from-to: 83

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Tvorba mikro- a nanostruktur v amorfních chalkogenidech a aplikace jevu	Práce shrnuje výsledky studia tvorby mikro- a nanostruktur v tenkých vrstvách chalkogenidů As a Ge. Podařilo se realizovat nanostruktury s šířkou motivů menší než 100 nm do hloubky 400 nm.
eng	Fabrication of micro- and nanostructures in amorphous chalcogenides and application of thereof.	Paper summarizes results of studies of micro- and nanostructures fabrication into chalcogenide As and Ge based films. Nanostructures with motives smaller than 100 nm were realized into depth 400 nm.	chalcogenide film, nanostructure

Search