University of Pardubice Faculty of Chemical Technology

University

Employees
|
Students
Česky

Publication detail

Application of Chalcogenide Glasses in Lithography

Authors: Kovalskiy A. | Lorinczi A. | Jain H. | Vlček Miroslav | Waits C.M. | Dubey M.

Year: 2005

Type of publication: ostatní - přednáška nebo poster

Name of source:

Publisher name:

Place:

Page from-to:

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Využití chalkogenidových skel v litografii	V práci je provedeno porovnání mokrého a suchého leptání tenkých vrstev chalkogenidů As. Je demonstrována možnost získání jak pozitivního, tak negativního leptu v závislosti na volbě složení vrstvy chalkogenidu a zvoleného leptadla.
eng	Application of Chalcogenide Glasses in Lithography	Wet and dry etching techniques of structurising thin films of As based chalcogenides are compared. It is demonstrated that both, positive and negative etching can be achieved simply by altering the glass or etchant composition.	wet etching, dry etching, chalcogenide glass