Publication detail

Efficient Diffractive optical elements in chalcogenide glass layers fabricated by direct DUV laser writing

Authors: Schroeter Siegmund | Vlček Miroslav | Poehlmann | Fišerová Alena

Year: 2007

Type of publication: článek v odborném periodiku

Name of source: Journal of Physics and Chemistry of Solids

Publisher name: Pergamon-Elsevier Science Ltd.

Place: Oxford

Page from-to: 916-919

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Tvorba vysoce účinných difrakčních optických prvků ve vrstvách chalkogenidů metodou přímého DUV zápisu	Metodou přímého zápisu intensivní m laserovým paprskem (244 nm) byly ve vrstách chalkogenidů o různých složeních vytvořeny reliefní difrakční prvky se submikronovou velikostí motivů. V práci jsou diskutovány možnosti a omezení této techniky pro tvorbu účinných difrakčních prvků pro aplikace ve VIS a IČ.
eng	Efficient Diffractive optical elements in chalcogenide glass layers fabricated by direct DUV laser writing	Direct laser writing with high power densities at a wavelength of 244nm is applied to the patterning of surface relief diffractive optical elements (DOEs) with submicron features in thin chalcogenide layers of different compositions. The topology of created features in dependence on exposure conditions is investigated. Potential and limitations of this technique for the fabrication of efﬁcient DOEs for applications from the visible to the near infrared spectral region are discussed on the basis of examples.	Diffractive optical elements, DUV direct laser writing, chalcogenide glass

Search