Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

On RF Magnetron Sputtering Deposition of Ag-Sb-S Thin Films.
Authors: Gutwirth Jan | Wágner Tomáš | Drašar Čestmír | Vlček Milan | Beneš Ludvík | Hrdlička Ma | Frumar Miloslav
Year: 2006
Type of publication: článek ve sborníku
Name of source: Sborník příspěvků Solid State Chemistry 2006
Publisher name: Univerzita Pardubice
Place: Pardubice
Page from-to: 170
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze O RF magnetronovém naprašování tenkých vrstev Ag-Sb-S. Bylo studováno RF magnetronové naprašování tenkých vrstev Ag-Sb-S. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng On RF Magnetron Sputtering Deposition of Ag-Sb-S Thin Films. RF magnetron sputtering deposition of Ag-Sb-S thin films was studied. amorphous chalcogenides, thin films, sputtering