Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Optical measurements of silicon wafer temperature
Authors: Postava | Aoyana | Mistrík Jan | Yamaguchi | Shio
Year: 2006
Type of publication: ostatní - přednáška nebo poster
Name of source:
Publisher name:
Place:
Page from-to:
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Optické měření teploty křemíkových substrátů Je popsáno optické měření teploty křemíkových substrátů.
eng Optical measurements of silicon wafer temperature Method and results of optical measurements of a silicon wafer temperature are described. silicon wafer temperature;optical measurements