Login for students

Login for employees

Publication detail

Plasma diagnostics in pulsed laser deposition of GaLaS chalcogenides
Authors: Pompilian O. G. | Gurlui S. | Němec Petr | Nazabal V. | Ziskind M. | Focsa C.
Year: 2013
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Applied Surface Science
Publisher name: Elsevier Science BV
Place: Amsterdam
Page from-to: 352-356
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Diagnostika plazmatu při pulzní laserové depozici chalkogenidů GaLaS Cílem této práce je charakterizovat plazma vznikající při laserové ablati vzorků GaLaS (GLS) za účelem lepšího pochopení ablačních dějů pro optimalizaci pulzní laserové depozice chalkogenidových tenkých vrstev. Dynamika plazmatu mezi materiálem terče a substrátem byla studována pomocí časoprostorově rozlišené optické emisní spektroskopie. Optická spektra s vysokým rozlišením byla zaznamenána v UV-VIS oblasti za použití monochromátoru s ohniskovou vzdáleností 500 mm a rychlé ICCD kamery. Z časoprostorových závislostí optického signálu byly určeny rychlosti různých částic (včetně neutrálů a iontů). Použitím metody relativních intenzit byly určeny časoprostorové závislosti excitační teploty and elektronové hustoty. Bylo popsáno komplexní chování plazmatu v průběhu laserové ablace. pulzní laserová depozice; dynamika plazmatu; optická emisní spektroskopie; chalkogenidy
eng Plasma diagnostics in pulsed laser deposition of GaLaS chalcogenides The aim of this work is to characterize the ejection plume obtained by laser ablation of GaLaS (GLS) samples in order to better understand the ablation phenomena for optimizing the pulsed laser deposition of chalcogenide thin films. The dynamics of the plasma between target and substrate was investigated through time-and space-resolved optical emission spectroscopy. High-resolution optical spectra have been recorded in the UV-VIS range using a 500-mm focal length monochromator and a fast gate ICCD camera. From the space-time evolution of the optical signals, the velocities of various species (including neutrals and ions) have been derived. Using the relative intensity method, the space-and time-evolution of the excitation temperature and electronic density have been determined. A complex behavior of the laser ablation plasma has been revealed. pulsed laser deposition; plasma dynamics; optical emission spectroscopy; chalcogenides

Departments

Other Parts

Map

en.mapy.cz

Services

Popular Links

© 2023 University of Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Phone: +420 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Webmaster, RSS
Data box ID: f5vj9hu
Accessibility Statement
CC BY-NC-ND 4.0Creative CommonsAttributionNonCommercialNoDerivatives