Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Pulsed laser deposited amorphous chalcogenide and alumino-silicate thin films and their multilayered structures for photonic applications
Authors: Němec Petr | Charrier J. | Cathelinaud M. | Allix M. | Adam J. -L. | Zhang S. | Nazabal Virginie
Year: 2013
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Thin Solid Films
Publisher name: Elsevier Science BV
Place: Amsterdam
Page from-to: 226-232
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Tenké vrstvy amorfních chalkogenidů a aluminosilikátů a jejich multivrstvé struktury pro fotonické aplikace deponované pulzním laserem Tenké vrstvy amorfních chalkogenidů a aluminosilikátů byly připraveny pulzní laserovou depozicí. Připravené vrstvy byly charakterizovány svou morfologií, chemickým složením a optickými vlastnostmi. Byly navrženy multvrstvé struktury tenkých filmů pro zrcadla a vertikální mikrokavity. Byly formulovány a testovány tři různé návrhy zrcadel, včetně plně chalkogenidových (As40Se60/Ge25Sb5S70) a chalkogenido-oxidových struktur (As40Se60/aluminosilikát a Ga10Ge15Te75/aluminosilikát). Zrcadlo na bázi As40Se60/aluminosilikát prokázalo nejlepší parametry. amorfní materiály; chalkogenidová skla; pulzní laserová depozice; tenké vrstvy; multivrstvy
eng Pulsed laser deposited amorphous chalcogenide and alumino-silicate thin films and their multilayered structures for photonic applications Amorphous chalcogenide and alumino-silicate thin films were fabricated by the pulsed laser deposition technique. Prepared films were characterized in terms of their morphology, chemical composition, and optical properties. Multilayered thin film stacks for reflectors and vertical microcavities were designed. Three different reflector designs were formulated and tested including all-chalcogenide layers (As40Se60/Ge25Sb5S70) and mixed chalcogenide-oxide layers (As40Se60/alumino-silicate and Ga10Ge15Te75/alumino-silicate). As40Se60/alumino-silicate reflector showed the best parameters. amorphous materials; chalcogenide glass; pulsed laser deposition; thin films; multilayers