Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Surface corrugating direct laser writing of microstructures in ternary chalcogenide films using a continuous-wave super-bandgap laser
Authors: Voynarovych Ivan | Schroeter Siegmund | Poehlmann Ruediger | Vlček Miroslav
Year: 2015
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Journal of Physics D: Applied Physics
Publisher name: Institute of Physics Publishing Ltd
Place: Bristol
Page from-to: "265106-1"-"265106-9"
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Přímý zápis mikrostruktur v ternárních chalkogenidových vrstvách korugací jejich povrchu cw nadgapovým laserem Ke korugaci povrchu ternárních As-S-Se chalkogenidových tenkých vrstev byl použit přímý zápis fokuzovaným svazkem 442 nm cw laseru. Studium topografie povrchových reliefních struktur a analýza probíhajících tepelných procesů ukazují na skutečnost, že mechanismus tvorby struktur je v závislosti na intenzitě paprsku a rychlosti zápisu založen na fotoindukované expanzi způsobené termoelastickou deformací, tvorbou fotoindukovaného gradientu povrchového napětí a dekompozicí/odpařením materiálu díky lokálnímu ohřevu v důsledku lokální absorpce laserového paprsku. Jsou ukázány příklady tvorby periodických struktur ve vrstvách chalkognidů. přímý laserový zápis; chalkogenidová tenká vrstva; termoelastická deformace; povrchová reliefní struktura
eng Surface corrugating direct laser writing of microstructures in ternary chalcogenide films using a continuous-wave super-bandgap laser Direct laser writing using a tightly focused 442 nm continuous-wave laser was applied to corrugate the surface of ternary As-S-Se chalcogenide thin films with high spatial resolution. The topography of the emerging surface relief structures and analyses of the underlying photo thermal processes indicate that depending on the beam intensity and writing speed the formation mechanisms of the surface patterns are mainly based on photoexpansion caused by thermoelastic deformation, mass flow out of the region of the highest local intensity in the center of the exposing laser beam resulting from an induced surface tension gradient, and decomposition/vaporization processes generated by the local heating due to absorption of the laser light. Examples of written periodic pattern arrays demonstrate that direct laser writing is a very promising method for the fabrication of surface relief structures into ternary chalcogenide thin films direct laser writing; chalcogenide thin film; thermoelastic deformation,surface relief structure