University of PardubiceFaculty of Chemical Technology

University

Employees
|
Students
Česky

Publication detail

Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films

Authors: Loghina Liudmila | Pálka Karel | Bůžek Jan | Šlang Stanislav | Vlček Miroslav

Year: 2015

Type of publication: článek v odborném periodiku

Name of source: Journal of Non-Crystalline Solids

Page from-to: 21-24

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Selektivní leptání tenkých vrstev sklovitého As2Se3	Praktické aplikace chalkogenidovýsh skel založené na jejich fotocitlivosti vyžadují důkladné porozumění vztahu mezi strukturou skla a kinetikou leptání. V této práci se zabýváme selektivním leptáním tenkých vrstev As2Se3 v roztocích aminů. Byl pozorován vztah mezi opticky a tepelně indukovanými změnami ve struktuře skla a poklesem leptací rychlosti.	Chalkogenidová skla;selektivní leptání
eng	Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films	Photosensitivity based practical applications of chalcogenide glasses such as high resolution inorganic photoresists require thorough understanding of the relations between the glass structure and the etching kinetics. In this paper we report on the selective wet etching of thermally evaporated As2Se3 thin films carried out using amine based solutions. The relation between photo- and thermo-induced structural changes in thin As2Se3 films and the decrease of the etching rate, increase of the etching process’ activation energy respectively, was determined.	chalcogenide glasses;selective etching