Login for students

Login for employees

Publication detail

Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition
Authors: Taylor Andrew | Drahokoupil Jan | Fekete Ladislav | Klimša Ladislav | Kopeček Jaromír | Purkrt Adam | Remeš Zdeněk | Čtvrtlík Radim | Tomáštík Jan | Frank Otakar | Janíček Petr | Mistrík Jan | Mortet Vincent
Year: 2016
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Diamond and Related Materials
Page from-to: 13-18
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Strukturální, optické a mechanické vlastnosti tenkých diamantových vrstev a tenkých vrstev karbidu křemíku deponovaných mikrovlnnou plasmou podpořenou chemickou plynnou depozicí s rozvodem lineární anténou za nízkého tlaku V tomto článku jsou studovány vlastnosti karbidu křemíku a polykrystalických diamantových vrstev deponovaných mikrovlnnou plasmou podpořenou chemickou plynnou depozicí s rozvodem lineární anténou za nízkého tlaku. Jejich strukturální, mechanické a optické vlastnosti jsou porovnány s ohledem na jejich potenciální využití v oblasti transparentních tvrdých potahů. Karbid křemíku vykazuje mechanické vlastnosti porovnatelné s tenkými diamantovými vrstvami, ale podstatně vyšší adhezi a nižší absorpční koeficient v širokém spektrálním oboru. diamant; karbid křemíku; adheze; mechanické vlastnosti; optické vlastnosti
eng Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition In this work, we detail the properties of thin silicon carbide and polycrystalline diamond layers grown by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition with linear antenna delivery. Structural, mechanical and optical properties are compared for their potential use as transparent hard coatings. Silicon carbide layers exhibit mechanical properties comparable to thin diamond layers but with a significantly higher adhesion and lower optical absorption coefficient over a wide spectral range. Diamond; Silicon carbide; Adherence; Mechanical properties; Optical properties

Departments

Other Parts

Map

en.mapy.cz

Services

Popular Links

© 2023 University of Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Phone: +420 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Webmaster, RSS
Data box ID: f5vj9hu
Accessibility Statement
CC BY-NC-ND 4.0Creative CommonsAttributionNonCommercialNoDerivatives