University of PardubiceFaculty of Chemical Technology

University

Employees
|
Students
Česky

Publication detail

Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films

Authors: Pálka Karel | Šlang Stanislav | Bůžek Jan | Vlček Miroslav

Year: 2016

Type of publication: článek v odborném periodiku

Name of source: Journal of Non-Crystalline Solids

Page from-to: 104-109

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Selektivní leptání tenkých vrstev složení As30S45Se25 připravených spin-coatingem a vakuovým napařováním	Chalkogenidová skla jsou intenzivně studované materiály díky jejich zajímavým optickým vlastnostem.V této práci se zabýváme studiem foto a termoindukovaných změn v optických vlastnostech a chemické odolnosti vakuově napařených a spin-coatingovaných tenkých vrstev složení As30S45Se25. Byly pozorovány výrazně odlišné trendy ve fotoindukovaných změnách optických parametrů a chemické odolnosti ve studovaných tenkých vrstvách (pozitivní leptání spin-coatingovaných tenkých vrstev a negativní leptání vakuově napařených). Taktéž byly studovány změny ve struktuře.	Chalkogenidová skla; selektivní leptání; tenké vrstvy
eng	Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films	Chalcogenide glasses are intensively studied materials due to their interesting optical properties such as high values of refractive index, wide transparency in IR, photosensitivity, etc.We report on the comparison of photo and thermo-induced changes in optical properties and chemical resistance of thermally evaporated and spincoated As30S45Se25 thin films. Significantly different trends of photo-induced changes in chemical resistance in both types of thin films such as negative etching of thermally evaporated thin films and positive etching of spin-coated thin films were observed. The structural changes responsible for the observed phenomena were investigated as well.	Chalcogenide glasses; Selective etching; Thin films