University of PardubiceFaculty of Chemical Technology

University

Employees
|
Students
Česky

Publication detail

Atomic Layer Deposition (ALD) workshop

Authors: Macák Jan

Year: 2016

Type of publication: konference, workshop, výstava

Page from-to: nestránkováno

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Workshop „Depozice atomárních vrstev: princip, možnosti, aplikace	Cílem workshopu je seznámit širokou odbornou veřejnost s možnostmi techniky pro depozice atomárních vrstev, které umožňuje deponovat širokou paletu materiálů (oxidy, sulfidy, nitridy, selenidy, kovy, atd.) na různé substráty.	depozice atomárních vrstev; tenké vrstvy; nanomateriály
eng	Atomic Layer Deposition (ALD) workshop	The goal of the workshop is to introduce Atomic Layer Deposition technique and its abilities to the audience. The technique enables deposition a wide range of materials (oxides, sulphides, nitrides, selenides, metals,etc.) on various substrates.	atomic layer deposition; thin layers; nanomaterials