Login for students

Login for employees

Publication detail

Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical sensors
Authors: Baudet Emeline | Sergent M. | Němec Petr | Cardinaud C. | Rinnert E. | Michel K. | Jouany L. | Bureau B. | Nazabal Virginie
Year: 2017
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Scientific Reports
Publisher name: Nature Publishing Group
Place: London
Page from-to: "3500-1"-"3500-14"
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Experimentální design pro optimalizaci depozice chalkogenidových RF naprašovaných tenkých vrstev určených pro environmentální optické senzory Vývoj optické biochemické technologie detekce je extrémně důležitá vědecká a technologická problematika pro diagnostiku a monitorování nemocí, kontrolu průmyslových procesů, environmentální detekci polutantů ve vzduchu a vodě. Vzhledem k význačným vlastnostem jsou chalkogenidové amorfní tenké vrstvy klíčem ve výrobě integrovaných optických zařízení ve střední infračervené oblasti spektra pro citlivou detekci biologických nebo environmentálních změn. Protože charakteristiky chalkogenidových tenkých vrstev, např. konformita stechiometrie, struktura, hrubost nebo optické vlastnosti, mohou být ovlivněny procesem růstu, je klíčová volba a kontrola depoziční metody. Přístup založený na experimentálním designu je nepochybně cestou, která musí být prozkoumána, jež umožňuje rychlou optimalizaci depozice chalkogenidových vrstev pomocí radiofrekvenčního magnetronového naprašování. Tlak argonu, pracovní výkon a depoziční čas byly vybrány jako potenciálně nejvlivnější faktory ze všech. Analýza pomocí experimentálního designu potvrzuje velký vliv tlaku Ar na studované odezvy: chemické složení, index lomu v blízké IR oblasti (1.55 mu m), střední IR oblasti (6.3 and 7.7 mu m), šířka zakázaného pásu energií, depoziční rychlost a povrchová hrubost. naprašování; amorfní chalkogenidy; tenké vrstvy; experimentální design
eng Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical sensors The development of the optical bio-chemical sensing technology is an extremely important scientific and technological issue for diagnosis and monitoring of diseases, control of industrial processes, environmental detection of air and water pollutants. Owing to their distinctive features, chalcogenide amorphous thin films represent a keystone in the manufacture of middle infrared integrated optical devices for a sensitive detection of biological or environmental variations. Since the chalcogenide thin films characteristics, i. e. stoichiometric conformity, structure, roughness or optical properties can be affected by the growth process, the choice and control of the deposition method is crucial. An approach based on the experimental design is undoubtedly a way to be explored allowing fast optimization of chalcogenide film deposition by means of radio frequency sputtering process. Argon (Ar) pressure, working power and deposition time were selected as potentially the most influential factors among all possible. The experimental design analysis confirms the great influence of the Ar pressure on studied responses: chemical composition, refractive index in near-IR (1.55 mu m) and middle infrared (6.3 and 7.7 mu m), band-gap energy, deposition rate and surface roughness. sputtering; amorphous chalcogenides; thin films; experimental design

Departments

Other Parts

Map

en.mapy.cz

Services

Popular Links

© 2023 University of Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Phone: +420 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Webmaster, RSS
Data box ID: f5vj9hu
Accessibility Statement
CC BY-NC-ND 4.0Creative CommonsAttributionNonCommercialNoDerivatives