Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Ideally Hexagonally Ordered TiO2 Nanotube Arrays
Authors: Sopha Hanna Ingrid | Samoril Tomas | Palesch Erik | Hromádko Luděk | Zazpe Raul | Skoda David | Urbanek Michal | Ng Siow Woon | Přikryl Jan | Macák Jan
Year: 2017
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: ChemistryOpen
Publisher name: John Wiley & Sons Ltd.
Place: Chichester
Page from-to: 480-483
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Ideálně hexagonálně uspořádáné vrstvy TiO2 nanotrubic Ideálně hexagonálně uspořádané vrstvy TiO2 nanotrubic byly připraveny pomocí optimizovaného anodizačního procesu Ti substrátů. Ty byly nejprve překryty ochrannou vrstvou TiN pomocí depozice atomárních vrstev (ALD). Pretexturování takto ochráněného substrátu na ploše 20X20 m2 byly realizovaný svazkem fokusovaných iontů (FIB), které vedlo k přípravě uniformních nanoděr ve vrstvě TiN, hexagonálně uspořádaných a s různou mezipórovou vzdáleností. Následná elektrochemická anodizace v etylenglykolovém elektrolytu vedla k preferenční anodizaci Ti skrz předpřipravené nanodíry do formy perfektně organizovaných nanotrubicových vrstev (podobné plástvím porézní aluminy) bez jakýchkoliv bodových defektů a s tloušťkou cca 2 m přes celou pretexturovanou plochu. anodizace; úprava svazkem fokusovaných iontů; hexagonální uspořádání; TiN protekční vrstva; TiO2 nanotrubicové vrstvy
eng Ideally Hexagonally Ordered TiO2 Nanotube Arrays Ideally hexagonally ordered TiO2 nanotube layers were produced through the optimized anodization of Ti substrates. The Ti substrates were firstly covered with a TiN protecting layer prepared through atomic layer deposition (ALD). Pre-texturing of the TiN-protected Ti substrate on an area of 20 x 20 mu m(2) was carried out by focused ion beam (FIB) milling, yielding uniform nanoholes with a hexagonal arrangement throughout the TiN layer with three different interpore distances. The subsequent anodic nanotube growth using ethylene-glycol-based electrolyte followed the pre-textured nanoholes, resulting in perfectly ordered nanotube layers (resembling honeycomb porous anodic alumina) without any point defects and with a thickness of approximately 2 mu m over the whole area of the pattern. anodization; focused ion beam milling; hexagonal ordering; TiN protecting layers; TiO2 nanotube layers