Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation
Year: 2018
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Materials Chemistry and Physics
Publisher name: Elsevier Science SA
Place: Lausanne
Page from-to: 310-318
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Optické vlastnosti a strukturování povrchu tenkých amorfních chalkogenidových vrstev Ge20Sb5S75 deponovaných metodami spin-coatingu a vakuového napařování Tenké amorfní vrstvy složení Ge20Sb5S75 byly deponovány spin-coatingem a vakuovým napařováním. Jejich optické vlastnosti byly zkoumány metodami spektroskopické elipsometrie v UV-NIR spektru. Tato práce je zaměřena na porovnání tepelně a fotoindukovaných změn optických vlastností, struktury a chemické odolnosti studovaných vrstev. Indukované změny struktury vrstev spojené se změnami jejich chemické stability byly využity pro povrchové strukturování pomocí fotolitografie a elektronové litografie. tenké vrstvy chalkogenidových skel; spin-coating; vakuové napařování; elektronová litografie; fotolitografie
eng Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation Thin amorphous films of Ge20Sb5S75 composition have been deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation techniques. Their optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry in UV-NIR spectral region. We report on the comparison of thermo- and photo-induced changes in optical parameters, structure and chemical resistance of studied samples. Induced changes of films structure connected with changes of chemical stability were exploited for their surface structuring by photolithography and electron beam lithography. Chalcogenide glass thin film; Spin-coating; Thermal evaporation; Electron beam lithography; Photolithography