Login for students

Login for employees

Publication detail

2D MoSe2 Structures Prepared by Atomic Layer Deposition
Authors: Krbal Miloš | Přikryl Jan | Zazpe Raul | Dvořák Filip | Bureš Filip | Macák Jan
Year: 2018
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Physica Status Solidi-Rapid Research Letters
Publisher name: Wiley-VCH
Place: Weinheim
Page from-to: "1800023-1"-"1800023-4"
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze 2D MoSe2 struktury připravené depozicí atomárních vrstev Zde demonstrujeme přípravu 2D MoSe2 struktur metodou depozice atomárních vrstev. V této práci jsme použili ((CH3)3Si)2Se jako Se prekurzor a Mo(CO)6 nebo MoCl5 jako Mo prekurzory. Rentgenové fotoelektronové spektroskopické analýzy připravených vzorků odhalily, že při použití prekurzoru MoCl5 je získaná struktura MoSe2 téměř identická se strukturou referenčního práškového vzorku MoSe2, zatímco složení vzorku připraveného z Mo(CO)6 obsahuje značné množství atomů kyslíku. Následné ověření čerstvě připravených vzorků pomocí skenovací elektronové mikroskopie (SEM) rentgenové difrakce (XRD) a Ramanové spektroskopie odhalilo, že struktura MoSe2 připravená z MoCl5 je tvořena z náhodně orientovaných krystalických plátků o velikosti asi 100 nm na rozdíl od kompaktních vrstev Mo-Se-O pocházejících z Mo(CO)6. Depozice atomárních vrstev; MoSe2; struktura
eng 2D MoSe2 Structures Prepared by Atomic Layer Deposition Here, we demonstrate the preparation of 2D MoSe2 structures by the atomic layer deposition technique. In this work, we use ((CH3)(3)Si)(2)Se as the Se precursor and Mo(CO)(6) or MoCl5 as the Mo precursors. The X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analyses of the prepared samples have revealed that using the MoCl5 precursor the obtained structure of MoSe2 is nearly identical to the reference powder MoSe2 sample while the composition of the sample prepared from Mo(CO)(6) contains a significant amount of oxygen atoms. Further inspection of as-deposited samples via scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XRD), and Raman spectroscopy has disclosed that the MoSe2 structure based on MoCl5 is formed from randomly oriented well crystalline flakes with their size approximate to 100nm in contrast to the Mo-Se-O compact film originating from Mo(CO)(6). atomic layer deposition; MoSe2; structure

Departments

Other Parts

Map

en.mapy.cz

Services

Popular Links

© 2023 University of Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Phone: +420 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Webmaster, RSS
Data box ID: f5vj9hu
Accessibility Statement
CC BY-NC-ND 4.0Creative CommonsAttributionNonCommercialNoDerivatives