Login for students

Login for employees

Publication detail

Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers
Authors: Ohlidal Ivan | Vohanka Jiri | Mistrík Jan | Cermak Martin | Franta Daniel
Year: 2018
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: Surface and Interface Analysis
Publisher name: John Wiley & Sons Ltd.
Place: Chichester
Page from-to: 1230-1233
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Různé teoretické přístupy při optické charakterizaci náhodně drsných křemíkový povrchů pokrytý nativní oxidovou vrstvou Výsledky optické charakteristiky náhodně drsných křemíkových povrchů pokrytých přirozenými Oxidové vrstvy založené na zpracování experimentálních dat získaných ellipsometrií a reflexometrií jsou prezentovány. Ukazuje se, že Rayleigh-Riceova teorie je vhodným teoretickým přístupem pro charakterizující mikrostruktury povrchu v protikladu k efektivní aproximaci médií. Kombinace teorie Rayleigh-Rice a skalární difrakční teorie je efektivní a spolehlivý přístup pro charakterizaci hrubších povrchů s efektivními hodnotami výšky větší než 10 nm. Tloušťka nativní vrstvy oxidu a parametry drsnosti, tj. hodnoty efektivnosti výšky a autokorelace délky, jsou určeny pro drsné a hrubší povrchy pomocí odpovídajících teoretických přístupů. drsnost; optická charakterizace; Si povrch; nativní povrchová vrstva
eng Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers Results of the optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers based on processing experimental data obtained by ellipsometry and reflectometry are presented. It is shown that the Rayleigh-Rice theory is suitable theoretical approach for characterizing micro-rough surfaces in contrast to effective medium approximation. Combination of the Rayleigh-Rice theory and scalar diffraction theory is efficient and reliable approach for characterizing rougher surfaces with the rms values of heights larger than 10 nm. Thickness of native oxide layers and roughness parameters, ie, the rms values of heights and autocorrelation lengths, are determined for micro-rough and rougher surfaces using the corresponding theoretical approaches. native oxide layers; optical characterization; roughness; silicon surfaces

Departments

Other Parts

Map

en.mapy.cz

Services

Popular Links

© 2023 University of Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Phone: +420 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Webmaster, RSS
Data box ID: f5vj9hu
Accessibility Statement
CC BY-NC-ND 4.0Creative CommonsAttributionNonCommercialNoDerivatives