Publication detail

Mass spectrometric investigation of amorphous Ga-Sb-Se thin films

Year: 2019

Type of publication: článek v odborném periodiku

Name of source: Scientific Reports

Publisher name: Nature Publishing Group

Place: London

Page from-to: "10213-1"-"10213-10"

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Studium amorfních tenkých vrstev Ga-Sb-Se pomocí hmotnostní spektrometrie	Amorfní chalkogenidové tenké vrstvy jsou široce studovány s ohledem na jejich vlastnosti a rozsáhlé aplikace. V této práci jsme studovali amorfní chalkogenidové tenké vrstvy Ga-Sb-Se připravené magnetronovým vícekatodovým naprašováním s pomocí time-of-flight hmotnostní spektrometrie s laserovou ablací a kvadrupólovou iontovou pastí. Dále byla určena stechiometrie generovaných klastrů, což dává informace o jednotlivých částicích přítomných v plazmatu, které vznikají při interakci amorfních chalkogenidů s vysoce energetickými laserovými pulzy. Bylo studováno sedm různých složení tenkých vrstev (obsah Ga 7,6-31,7 at. %, obsah Sb 5,2-31,2 at. %, obsah Se 61,2-63,3 at. %) a ve všech případech bylo identifikováno asi 50 různých klastrů v pozitivním iontovém módu a 20-30 v negativním módu. Pro vybrané binární a ternární klastry byla pomocí DFT optimalizační procedury vypočtena jejich struktura.	amorfní chalkogenidy; tenké vrstvy; magnetronové naprašování; hmotnostní spektrometrie
eng	Mass spectrometric investigation of amorphous Ga-Sb-Se thin films	Amorphous chalcogenide thin films are widely studied due to their enhanced properties and extensive applications. Here, we have studied amorphous Ga-Sb-Se chalcogenide thin films prepared by magnetron co-sputtering, via laser ablation quadrupole ion trap time-of-flight mass spectrometry. Furthermore, the stoichiometry of the generated clusters was determined which gives information about individual species present in the plasma plume originating from the interaction of amorphous chalcogenides with high energy laser pulses. Seven different compositions of thin films (Ga content 7.6-31.7 at. %, Sb content 5.2-31.2 at. %, Se content 61.2-63.3 at. %) were studied and in each case about -50 different clusters were identified in positive and -20-30 clusters in negative ion mode. Finally, for selected binary and ternary clusters, their structure was calculated by using DFT optimization procedure.	amorphous chalcogenides; thin films; magnetron sputtering; mass spectrometry

Search

Login for students

Login for employees

Publication detail

Departments

Other Parts

Map

Services

Popular Links