Publication detail

Molybdenum diselenide thin films grown by atomic layer deposition: An XPS analysis

Authors: Rodriguez Pereira Jhonatan | Zazpe Raul | Charvot Jaroslav | Bureš Filip | Macák Jan

Year: 2020

Type of publication: článek v odborném periodiku

Name of source: Surface Science Spectra

Publisher name: American Institute of Physics

Place: Melville

Page from-to: "024006-1"-"024006-8"

Titles:

Language	Name	Abstract	Keywords
cze	Tenké vrstvy MoSe2 připravené depozicí atomárních vrstev: XPS analýzy	Tenké vrstvy selenidu molybdenatého (MoSe2) byly deponovány na vyžíhané titanové fólie pomocí depozice atomárních vrstev s využitím vhodných prekursorů. V článku popisujeme detailní analýzu těchto vrstev pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS). V přehledovém spektru byly měřeny struktury jader Mo 3d, Se 3d, Mo 3p, Se LMM, Se 3p, C 1s, and Se 4s a také spektra valenčních pásů. Kvantitativní analýza indikovala povrochové složení MoSe1.8, které poukazuje na nedostatečné množství Se v povrchové vrstvě.	MoSe2; dichalkogenidy přechodných prvků; tenké vrstvy; 2D materiály; XPS
eng	Molybdenum diselenide thin films grown by atomic layer deposition: An XPS analysis	Molybdenum diselenide (MoSe2) thin films were deposited on annealed titanium foils by atomic layer deposition using suitable precursors. In this paper, a detailed x-ray photoelectron spectroscopy analysis of the MoSe2 film is presented. Survey spectra, Mo 3d, Se 3d, Mo 3p, Se LMM, Se 3p, C 1s, and Se 4s core level along with the valence band spectra were measured. Quantitative analysis indicates a surface composition of MoSe1.8, suggesting a deficiency of selenium on the surface.	MoSe2; transition metal dichalcogenides; thin films; 2D material; XPS

Search