Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

Design of a Multimode Interferometer-Based Mid-Infrared Multispecies Gas Sensor
Authors: Bodiou Loic | Dumeige Yannick | Normani Simone | Louvet Geoffrey | Němec Petr | Nazabal Virginie | Charrier Joel
Year: 2020
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: IEEE Sensors Journal
Publisher name: IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)
Place: New York
Page from-to: 13426-13435
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Design multimódového plynového senzoru na bázi interferometru pro střední infračervenou oblast spektra Je navržen dělič svazku multimódového interferometru na bázi chalkogenidových vlnovodů emitujících ve střední infračervené oblasti spektra. Toto zařízení násobí infračervené světlo ve dvou kanálech, jejichž pásy se překrývají s absorpčními pásy CO2 nebo CO mezi 4.20-4.32 a 4.50-4.86 mikrometry. Jsou určeny tolerance k odchylkám od optimálního designu zařízení, které vznikají z procesních podmínek (příprava materiálů a naprašování, fotolitografie a suché leptání). Spektrální propustnost je obzvláště zkoumána jako funkce odchylek indexu lomu deponovaných vrstev a rozměrů multimódové části (šířka a délka) od hodnot návrhu. amorfní chalkogenidy; tenké vrstvy; senzor; fotonika
eng Design of a Multimode Interferometer-Based Mid-Infrared Multispecies Gas Sensor A multimode interferometer beam splitter based on mid-infrared emitting chalcogenides waveguides is designed. This device multiplexes infrared light in two channels whose respective bands overlap either CO2 or CO absorption bands, respectively between 4.20-4.32 and 4.50-4.86 micrometer. Tolerances to variations from the optimum device design resulting from processing conditions (materials fabrication and sputtering, photolithography and dry etching) are assessed. In particular, the spectral transmission is investigated as a function of deposited film refractive index and multimode section dimensions (width and length) deviation from designed values. Amorphous chalcogenides; thin films; sensor; photonics