Login for students

Login for employees

Publication detail

Praseodymium-doped Ge20In5Sb10Se65 films based on argon plasma co-sputtering for infrared-luminescent integrated photonic circuits
Authors: Starecki F. | Baillieul Marion | Ghanawi T. | Hammouti A. | Lemaitre J. | Gutwirth Jan | Benardais A. | Šlang Stanislav | Charrier J. | Bodiou L. | Němec Petr | Nazabal Virginie
Year: 2024
Type of publication: článek v odborném periodiku
Name of source: ACS Applied Materials & Interfaces
Page from-to: 5225-5233
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Praseodymem dotované vrstvy Ge20In5Sb10Se65 založené na vícekatodovém naprašování v plazmatu argonu pro luminiscentní integrované fotonické obvody v infračervené oblasti spektra Popisujeme infračervenou luminiscenci amorfních praseodymem dotovaných Ge20In5Sb10Se65 vlnovodů. Amorfní chalkogenidové tenké vrstvy byly deponovány radiofrekvenčním magnetronovým vícekatodovým naprašováním za použití argonového plazmatu, jehož parametry byly optimalizovány. Vlnovody byly připraveny fotolitografií a leptáním reaktivním vázaným plazmatem. Byl vyšetřován vliv koncentrace vzácné zeminy v těchto tenkých vrstvách na jejich optické vlastnosti a spektroskopické vlastnosti vzácné zeminy. Za použití excitační vlnové délky 1,55 μm byla jasně prokázána luminiscence ve střední infračervené oblasti spektra v oblasti 2,5-5,5 μm. amorfní chalkogenidy; vlnovody; luminiscence; vzácná zemina; tenké vrstvy
eng Praseodymium-doped Ge20In5Sb10Se65 films based on argon plasma co-sputtering for infrared-luminescent integrated photonic circuits We report on the infrared luminescence of amorphous praseodymium-doped Ge20In5Sb10Se65 waveguides. Amorphous chalcogenide thin films were deposited by radiofrequency magnetron cosputtering using an argon plasma whose deposition parameters were optimized. Waveguides were fabricated using photolithography and plasma-coupled reactive ion etching techniques. The influence of the rare earth concentration within those thin films on their optical properties and rare earth spectroscopic properties was investigated. Using an excitation wavelength of 1.55 μm, the mid-infrared luminescence of Pr3+ ions from 2.5 to 5.5 μm was clearly demonstrated. amorphous chalcogenides; waveguides; luminescence; rare earth; thin films

Departments

Other Parts

Map

en.mapy.cz

Services

Popular Links

© 2023 University of Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Phone: +420 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Webmaster, RSS
Data box ID: f5vj9hu
Accessibility Statement
CC BY-NC-ND 4.0