Skip to main content

Login for students

Login for employees

Publication detail

The Annealing Effect of the Silicon Substrates Studied by Ellipsometry
Authors: Čechalová Božena | Mistrík Jan | Čech Vladimír
Year: 2007
Type of publication: ostatní - přednáška nebo poster
Page from-to: nestránkováno
Titles:
Language Name Abstract Keywords
cze Studium teploty Si waferů spektroelipsometrickou metodou Elipsometrické studium teplotní závislosti optických konstant Si waferů.
eng The Annealing Effect of the Silicon Substrates Studied by Ellipsometry Spectroelipsometric study of temperature dependence of Si wafer. elipsometry;Si wafer;annealing effect