Publikace detail

Characterization of RF magnetron sputtered Se-doped Ge2Sb2.3Te5 thin films.

Rok: 2008

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Materials Research Society Symposium Proceedings

Název nakladatele: MRS (Materials Research Society)

Místo vydání: San Francisco

Strana od-do: G05-07

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Charakterizace selenem dotovaných tenkých vrstev Ge2Sb2.3Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním.	Byla provedena charakterizace selenem dotovaných tenkých vrstev Ge2Sb2.3Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním.	amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng	Characterization of RF magnetron sputtered Se-doped Ge2Sb2.3Te5 thin films.	Characterization of RF magnetron sputtered Se-doped Ge2Sb2.3Te5 thin films was performed.	amorphous chalcogenides, thin films, sputtering

Search