Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

On Angle Resolved RF Magnetron Sputtering of Ge-Sb-Te Thin Films.
Autoři: Gutwirth | Wágner Tomáš | Bezdička | Kotulánová | Vlček Milan | Orava | Frumar Miloslav
Rok: 2008
Druh publikace: článek ve sborníku
Název zdroje: Delegate manual: XVIth International Symposium on Non-Oxide and New Optical Glasses
Název nakladatele: University of Montpellier
Místo vydání: Montpellier
Strana od-do: P-2
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Úhlově rozlišené RF magnetronové naprašování tenkých vrstev Ge-Sb-Te. Byla provedena charakterizace úhlově rozlišeného RF magnetronového naprašování tenkých vrstev Ge-Sb-Te. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng On Angle Resolved RF Magnetron Sputtering of Ge-Sb-Te Thin Films. Characterization of angle resolved RF magnetron sputtered Ge-Sb-Te thin films was performed. amorphous chalcogenides, thin films, sputtering