Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Depozice tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 technikou radiofrekvenčního magnetronového naprašování.
Autoři: Gutwirth | Wágner Tomáš | Bezdička | Orava | Kotulanová | Vlček Milan | Frumar Miloslav
Rok: 2008
Druh publikace: článek ve sborníku
Název zdroje: Chemické listy
Název nakladatele: Česká společnost chemická
Místo vydání: Praha
Strana od-do: 685
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Depozice tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 technikou radiofrekvenčního magnetronového naprašování. Byla studována depozice tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 technikou radiofrekvenčního magnetronového naprašování. amorfní chalkogenidy, magnetronové naprašování, Ge2Sb2Te5
eng Deposition of Ge2Sb2Te5 thin films using radio-frequency magnetron sputtering technique. Deposition of Ge2Sb2Te5 thin films using radio-frequency magnetron sputtering technique was studied. amorphous chalcogenides, magnetron sputtering, Ge2Sb2Te5