Publikace detail

RF magnetron sputtering of Se doped Ge-Sb-Te thin films.

Rok: 2008

Druh publikace: článek ve sborníku

Název zdroje: European phase change and ovonics symposium : EPCOS 2008

Název nakladatele: Univerzita Pardubice

Místo vydání: Pardubice

Strana od-do: 203

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	RF magnetronové naprašování selenem dotovaných tenkých vrstev Ge-Sb-Te.	Bylo studováno RF magnetronové naprašování selenem dotovaných tenkých vrstev Ge-Sb-Te.	amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng	RF magnetron sputtering of Se doped Ge-Sb-Te thin films.	RF magnetron sputtering of Se doped Ge-Sb-Te thin films was studied.	amorphous chalcogenides, thin films, sputtering

Search