Publikace detail

Etching processes applied for the formation of nano- and microstructures in chalcogenide glasses

Autoři: Vlček Miroslav | Přibylová Hana

Rok: 2008

Druh publikace: článek ve sborníku

Název zdroje: Book of Abstracts of Solid State Chemistry 2008

Místo vydání: Bratislava, Slovensko

Strana od-do: 38

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Leptací procesy aplikované pro tvorbu nano- a mikrostruktur v chalkogenidových sklech	V práci je uveden přehled technik použitelných pro tvorbu mřížek, vlnovodů, 3 D fotonických krystalů atd založených na strukturálních a fyzikálně chemických změnách indukovaných v chalkogenidových vrstvách expozicí fotony (VIS, UV), rentgenovými paprsky, svazkem elektronů a následném selektivním leptání.	chalkogenidová skla, selektivní leptání
eng	Etching processes applied for the formation of nano- and microstructures in chalcogenide glasses	This paper gives a review of different techniques applied for the fabrication of gratings, waveguides, three-dimensional photonic crystals etc. based on structural and physico-chemical changes in thin chalcogenide films induced by band gap light (VIS part of spectra), UV, X ray and/or electron beam with consequent wet or dry etching	chalcogenide glasses, selective etching

Search