Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Utilization of Chalcogenide Thin Film as Inorganic Photoresist.
Autoři: Orava J. | Wágner Tomáš | Kohoutek Tomáš | Krbal M. | Vlček Milan | Frumar Miloslav
Rok: 2007
Druh publikace: článek ve sborníku
Název zdroje: ICG 2007: XXIst International Congress on Glass
Název nakladatele: The International Commission on Glass
Místo vydání: Strasbourg, France
Strana od-do: 133
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Využití chalkogenidových tenkých vrstev jako anorganických fotorezistů. Bylo studováno využití chalkogenidových tenkých vrstev jako anorganických fotorezistů. amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, fotorezisty
eng Utilization of Chalcogenide Thin Film as Inorganic Photoresist. Utilization of chalcogenide thin film as inorganic photoresist was studied. amorphous chalcogenides, thin films, photoresists