Publikace detail

RF Magnetron Sputtered Ge2Sb2Te5 Thin Films Characterization.

Rok: 2007

Druh publikace: článek ve sborníku

Název zdroje: Program book - IMST 2007

Místo vydání: Enschede, Netherlands

Strana od-do: 47-48

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Charakterizace tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním.	Byla studována charakterizace tenkých vrstev Ge2Sb2Te5 připravených RF magnetronovým naprašováním.	amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, naprašování
eng	RF Magnetron Sputtered Ge2Sb2Te5 Thin Films Characterization.	RF magnetron sputtered Ge2Sb2Te5 thin films characterization was studied.	amorphous chalcogenides, thin films, sputtering

Search