Publikace detail

Tvorba mikro- a nanostruktur v chalkogenidových sklech

Autoři: Vlček Miroslav | Schroeter S. | Fišerová A. | Poehlmann R.

Rok: 2005

Druh publikace: článek ve sborníku

Název zdroje: Sklář a keramik 55 C

Název nakladatele: Vysoká škola chemicko-technologická v Praze

Místo vydání: Praha

Strana od-do: 172-177

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Tvorba mikro- a nanostruktur v chalkogenidových sklech	Práce se zabývá tvorbou mikro- a nanostruktur v amorfních vrstvách chalkogenidů na bázi As a Ge. Je zde ukázáno, že expozice vhodným zářením může indukovat výrazné změny optických vlastnoatí a chemické odolnosti vůči alkáliím. V práci je diskutován mechanismus selektivního leptání a vliv podmínek expozice na leptací křivky. Je demonstrována výroba difrakčních prvků v těchto materiálech.	chalkogenidová skla, selektivní leptání, fotoindukovaný jev, difrakční opticé prvky
eng	Fabrication of micro- and nanostructures in chalcogenide glasses.	This paper deals with fabrication of micro- and nanostructures in thin films of amorphous As- and Ge- based chalcogenides. It is shown that exposure to band gap and/or to UV light as well as to electron beam can result in significant changes in optical properties and chemical resistance to alkaline solvents. Mechanism of high selective etching of As-based films is discussed. The influence of exposure conditions on the etching characteristics are investigated. Fabrication of some diffractive optical elements is demonstrated	chalcogenide glass, selective etching, photoinduced phenomenon, diffractive optical elements

Search