Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Selektivní leptání chalkogenidových vrstev a jeho praktické aplikace
Autoři: Fišerová Alena | Vlček Miroslav | Jain H.
Rok: 2005
Druh publikace: článek ve sborníku
Název zdroje: ChemZi
Název nakladatele: Slovenská chemická spoločnosť pri SAV
Místo vydání: Bratislava
Strana od-do: 168-169
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Selektivní leptání chalkogenidových vrstev a jeho praktické aplikace V práci byly studovány fotoindukované změny chemické rezistence tenkých vrstev amorfních chalkogenidů vůči nevodným alkalickým roztokům. Jevu bylo využito pro tvorbu difrakčních mřížek expozicí přes Cr masku a holografickou cestou.
eng Selective etching of amorphous chalcogenide films and practical application thereof. Photoinduced changes of chemical resistance of thin amorphous chalcogenide films to non-aqueous alkalis have been studied. This phenomenon was utilized to fabricate diffractive gratings in chalcogenide films. chalcogenide films, selective etching