Publikace detail

Development of 3-D Ag-doped chalcogenide glass hard masks using dry reactive ion etching (RIE)

Autoři: Vlček Miroslav | Kovalskyi A. | Jain H. | Waits C.M. | Dubey M.

Rok: 2005

Druh publikace: ostatní - přednáška nebo poster

Název zdroje:

Název nakladatele:

Místo vydání:

Strana od-do:

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Vývoj stříbrem dopovaných, vysoce odolných 3-D masek na bázi chalkogenidů pomocí techniky RIE	Byla studována možnost využití binárního systému Ag - chalkogenidové sklo pro tvorbu vysoce odolných 3-D masek. Byly studovány parametry suchého leptání s cílem dosáhnout co nejvyšší selektivity suchého leptání.
eng	Development of 3-D Ag-doped chalcogenide glass hard masks using dry reactive ion etching (RIE)	Possibility to apply binary system Ag-chalcogenide film as 3-D hard mask was studied. Parameters of dry reactive ion etching were evaluated to achieve high selectivity of dry etching.	reactive ion etching, chalcogenide film

Vyhledávání