Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Application of Chalcogenide Glasses in Lithography
Autoři: Kovalskiy A. | Lorinczi A. | Jain H. | Vlček Miroslav | Waits C.M. | Dubey M.
Rok: 2005
Druh publikace: ostatní - přednáška nebo poster
Název zdroje:
Název nakladatele:
Místo vydání:
Strana od-do:
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Využití chalkogenidových skel v litografii V práci je provedeno porovnání mokrého a suchého leptání tenkých vrstev chalkogenidů As. Je demonstrována možnost získání jak pozitivního, tak negativního leptu v závislosti na volbě složení vrstvy chalkogenidu a zvoleného leptadla.
eng Application of Chalcogenide Glasses in Lithography Wet and dry etching techniques of structurising thin films of As based chalcogenides are compared. It is demonstrated that both, positive and negative etching can be achieved simply by altering the glass or etchant composition. wet etching, dry etching, chalcogenide glass