Publikace detail
Spectroscopic ellipsometry: its accuracy and potenciality
Autoři:
Mistrík Jan | Yamaguchi T. | Antos R. | Jiang Z. | Ohlídal I. | Aoyama M.
Rok: 2006
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: International Journal of Microwave and Optical Technology
Název nakladatele: ISRAMT
Místo vydání: Reno, Nevada, USA
Strana od-do: 523-527