Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Spectroscopic ellipsometry: its accuracy and potenciality
Autoři: Mistrík Jan | Yamaguchi T. | Antos R. | Jiang Z. | Ohlídal I. | Aoyama M.
Rok: 2006
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: International Journal of Microwave and Optical Technology
Název nakladatele: ISRAMT
Místo vydání: Reno, Nevada, USA
Strana od-do: 523-527
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Spektroskopická elipsometrie, její možnosti a přesnost . Možnosti a přesnost spektroskopické elipsometrie jsou popsány a diskutovány. spektroskopická elipsometrie
eng Spectroscopic ellipsometry: its accuracy and potenciality Accuracy and potenciality of the spectroscopic ellipsometry are discussed. spectroscopic ellipsometry