Publikace detail

Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials

Rok: 2006

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Journal of Applied Physics

Název nakladatele: American Institute of Physics

Místo vydání: Melville

Strana od-do: 054906-054917

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Měření kritických rozměrů rozměrů mřížek z různých materiálů pomocí spktroskopické elipsometrie a jejich konvergenční chrakter	Je popsáno měření kritických rozměrů rozměrů mřížek z různých materiálů pomocí spktroskopické elipsometrie a jejich konvergenční chrakter.
eng	Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials	Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials are presented	spectroscopic ellipsometry;critical dimension measurements;ellipsometry on gratings

Vyhledávání