Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Optical measurements of silicon wafer temperature
Autoři: Postava | Aoyana | Mistrík Jan | Yamaguchi | Shio
Rok: 2006
Druh publikace: ostatní - přednáška nebo poster
Název zdroje:
Název nakladatele:
Místo vydání:
Strana od-do:
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Optické měření teploty křemíkových substrátů Je popsáno optické měření teploty křemíkových substrátů.
eng Optical measurements of silicon wafer temperature Method and results of optical measurements of a silicon wafer temperature are described. silicon wafer temperature;optical measurements