Publikace detail

Deposition techniques for chalcogenide thin films

Autoři: Orava Jiří | Kohoutek Tomáš | Wágner Tomáš

Rok: 2014

Druh publikace: kapitola v odborné knize

Název zdroje: Chalcogenide Glasses: Preparation, Properties and Applications

Název nakladatele: Woodhead Publishing

Místo vydání: Cambridge

Strana od-do: 265-309

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Depoziční techniky přípravy chalkogenidových tenkých vrstev	Tato kapitola popisuje detaily depozičních technik, a to s tepelným odpařováním, rozprašování, pulzní laserové depozice, chemické depozice z plynné fáze a spin-coating na chalkogenidových tenkých vrstev. Je diskutována klíčová otázka, výhod a vlivu různých depozičních technik a experimentálních podmínek na vlastnosti připravených amorfních chalkogenidových tenkých vrstev. Konečné chemické složení, struktura a fyzikálně-chemické vlastnosti připravených vrstev předurčují jejich použití a naopak. Jejich aplikace jsou v mnoha oblastech, jako je například (nano) elektronika, (nano) optika, ukládání informací, bezpečnosti, ochrany zdraví a alternativních zdrojů energie.
eng	Deposition techniques for chalcogenide thin films	The chapter describes details of deposition techniques, namely thermal evaporation, sputtering, pulsed-laser deposition, chemical vapour deposition and spin-coating for chalcogenide thin films. We discuss key issues, advantages and influence of different deposition techniques and experimental conditions on properties of as-prepared amorphous chalcogenide thin films. The final chemical composition, structure and physico-chemical properties of the prepared films predetermine their application and vice versa. Their applications are in many fields such as (nano)electronics, (nano)optics, information storage, security, health protection and alternative energy sources.	chalcogenide glasses; thin films deposition; physical vapour deposition; chemical vapour deposition

Vyhledávání

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte