Publikace detail

Preparation of arsenic sulfide thin films for integrated optical elements by spiral bar coating

Rok: 2014

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Optical Materials Express

Název nakladatele: Optical Society of America

Místo vydání: Washington, DC

Strana od-do: 384-395

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Příprava tenkých vrstev sulfidu arsenitého pro tvorbu optických prvků pomocí spirálového nanášení	Práce pojednává o přípravě tenkých vrstev o složení As35S65 z roztoku pomocí spirálového nanášení na pružný PET substrát a přímý zápis mřížek s periodou 350 nm pomocí laserové interferenční litografie. Struktura a optické vlastnosti tenkých vrstev o složení As35S65 deponovaných metodou spirálového nanášení byly studovány a porovnávány se vzorky připravenými metodou vakuového napařování.	chalkogenidová skla; tenké vrstvy; nanášení
eng	Preparation of arsenic sulfide thin films for integrated optical elements by spiral bar coating	We report on the preparation of thin As35S65 films from their amine based solutions by a spiral bar coating technique on flexible PET substrates and the direct writing of subwavelength surface corrugated gratings with a period of 350 nm into these films by excimer laser interference lithography. The structural and optical properties of bar coated As35S65 glass are investigated in detail and compared with those of samples fabricated by vacuum thermal evaporation. The polarization dependent spectral filtering properties of the guided mode resonance devices built by the waveguiding thin films and the surface relief gratings written by a single laser pulse are presented finally. (C) 2014 Optical Society of America	chalcogenide glasses; thin films; coating

Vyhledávání