Přejít k hlavnímu obsahu

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical bio-chemical sensors
Autoři: Nazabal Virginie | Baudet Emeline | Sergent M. | Němec Petr | Rinnert E. | Michel K. | Bureau B.
Rok: 2015
Druh publikace: ostatní - přednáška nebo poster
Strana od-do: nestránkováno
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
eng Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical bio-chemical sensors Experimental design approach was studied and used for the deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films which were devoted to environmental optical bio-chemical sensors. experimental design; amorphous chalcogenides; thin films; sputtering