Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films
Rok: 2015
Druh publikace: článek v odborném periodiku
Název zdroje: Journal of Non-Crystalline Solids
Strana od-do: 21-24
Tituly:
Jazyk Název Abstrakt Klíčová slova
cze Selektivní leptání tenkých vrstev sklovitého As2Se3 Praktické aplikace chalkogenidovýsh skel založené na jejich fotocitlivosti vyžadují důkladné porozumění vztahu mezi strukturou skla a kinetikou leptání. V této práci se zabýváme selektivním leptáním tenkých vrstev As2Se3 v roztocích aminů. Byl pozorován vztah mezi opticky a tepelně indukovanými změnami ve struktuře skla a poklesem leptací rychlosti. Chalkogenidová skla;selektivní leptání
eng Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films Photosensitivity based practical applications of chalcogenide glasses such as high resolution inorganic photoresists require thorough understanding of the relations between the glass structure and the etching kinetics. In this paper we report on the selective wet etching of thermally evaporated As2Se3 thin films carried out using amine based solutions. The relation between photo- and thermo-induced structural changes in thin As2Se3 films and the decrease of the etching rate, increase of the etching process’ activation energy respectively, was determined. chalcogenide glasses;selective etching

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

zobrazit na mapy.cz

Služby

Často hledáte

© 2023 Univerzita Pardubice, Studentská 95, 532 10 Pardubice 2
Telefon: 466 036 111, 466 036 112, 466 036 113
Správce webu, RSS
ID datové schránky: f5vj9hu
Prohlášení o přístupnosti
CC BY-NC-ND 4.0 CZCreative CommonsAttributionNonCommercialNoDerivatives