Publikace detail

Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition

Rok: 2016

Druh publikace: článek v odborném periodiku

Název zdroje: Diamond and Related Materials

Strana od-do: 13-18

Tituly:

Jazyk	Název	Abstrakt	Klíčová slova
cze	Strukturální, optické a mechanické vlastnosti tenkých diamantových vrstev a tenkých vrstev karbidu křemíku deponovaných mikrovlnnou plasmou podpořenou chemickou plynnou depozicí s rozvodem lineární anténou za nízkého tlaku	V tomto článku jsou studovány vlastnosti karbidu křemíku a polykrystalických diamantových vrstev deponovaných mikrovlnnou plasmou podpořenou chemickou plynnou depozicí s rozvodem lineární anténou za nízkého tlaku. Jejich strukturální, mechanické a optické vlastnosti jsou porovnány s ohledem na jejich potenciální využití v oblasti transparentních tvrdých potahů. Karbid křemíku vykazuje mechanické vlastnosti porovnatelné s tenkými diamantovými vrstvami, ale podstatně vyšší adhezi a nižší absorpční koeficient v širokém spektrálním oboru.	diamant; karbid křemíku; adheze; mechanické vlastnosti; optické vlastnosti
eng	Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition	In this work, we detail the properties of thin silicon carbide and polycrystalline diamond layers grown by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition with linear antenna delivery. Structural, mechanical and optical properties are compared for their potential use as transparent hard coatings. Silicon carbide layers exhibit mechanical properties comparable to thin diamond layers but with a signiﬁcantly higher adhesion and lower optical absorption coefﬁcient over a wide spectral range.	Diamond; Silicon carbide; Adherence; Mechanical properties; Optical properties

Vyhledávání

Přihlášení pro studenty

Přihlášení pro zaměstnance

Publikace detail

Katedry

Ústavy a pracoviště

Jak nás najdete?

Služby

Často hledáte